KAYDON晶圓步進(jìn)機(jī)專用薄壁軸承
半導(dǎo)體制造
Kaydon 擁有工程專業(yè)知識(shí)，可以為硅芯片制造過程的每個(gè)步驟開發(fā)精密軸承解決方案。從機(jī)器人到機(jī)械拋光機(jī)再到光刻設(shè)備，Kaydon Reali-Slim® 薄截面軸承為更小、更輕、更簡單的旋轉(zhuǎn)設(shè)備提供了節(jié)省空間的設(shè)計(jì)。
我們廣泛選擇的 Reali-Slim® 軸承可以定制和優(yōu)化，以**限度地減少摩擦、排氣、污染、腐蝕甚至磨損，而不會(huì)犧牲精度。特殊的可選材料和潤滑劑可允許工作溫度高于 250°C、真空度為 10 -8到 10 -12 Torr、**小化顆粒生成以及對(duì)腐蝕性化學(xué)環(huán)境的耐受性。混合軸承可以改善扭矩特性并延長邊緣潤滑應(yīng)用的使用壽命。
Kaydon Super Duplex 軸承組件是高速、平穩(wěn)扭矩應(yīng)用的理想解決方案。超級(jí)雙相軸承具有一個(gè)共同的滾道，兩個(gè)軸承路徑同時(shí)研磨并一起“跳動(dòng)”。這種獨(dú)特的設(shè)計(jì)有助于消除由軸向跳動(dòng)變化引起的潛在附加扭矩。Kaydon 盒式軸承組件使這種設(shè)計(jì)更進(jìn)一步，具有單個(gè)外滾道和單個(gè)內(nèi)滾道，以提供****的扭矩性能。與 Super Duplex 一樣，這種設(shè)計(jì)消除了在使用成對(duì)的角接觸軸承時(shí)可能導(dǎo)致的潛在對(duì)齊和定向安裝錯(cuò)誤。
可以在不增加軸承空間要求的情況下添加護(hù)罩或密封件。密封件通常用于大氣環(huán)境，而屏蔽件則適用于真空和其他超潔凈環(huán)境。因?yàn)榉雷o(hù)罩沒有完全接觸內(nèi)圈，所以沒有扭矩?fù)p失或顆粒產(chǎn)生。
Reali-Slim® 薄壁軸承
超級(jí)雙相軸承組件
盒式軸承組件
定制軸承
應(yīng)用
檢測設(shè)備
晶圓探針
濺射設(shè)備
晶圓傳送系統(tǒng)
點(diǎn)膠
拾取和放置機(jī)器人
測量系統(tǒng)
測試頭
定位器
切割設(shè)備
研磨設(shè)備
真空沉積系統(tǒng)
晶圓步進(jìn)機(jī)
探測站
武器
晶圓修整器
晶圓洗滌器
晶圓拋光機(jī)
薄膜沉積系統(tǒng)
CVD系統(tǒng)
蝕刻系統(tǒng)
機(jī)械拋光機(jī)
大氣和真空轉(zhuǎn)移
機(jī)器人
測試頭
機(jī)械手
兆聲波清洗系統(tǒng)
旋轉(zhuǎn)干燥機(jī)
光刻
機(jī)械拋光機(jī)
貼片機(jī)
